洛陽西格馬高溫電爐有限公司
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高溫電阻爐實力制造商
多年高溫電阻爐經驗，多項高溫技術
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全國統一服務熱線
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SGM1200度三溫區CVD管式爐由SGM 1200度管式爐+真空系統+供氣系統組成 ，溫度可以達到1200度。管式可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。
1200度管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和日本島電或宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用日本氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節能等點。
1200度三溫區CVD管式爐是一種特殊的CVD系統，是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的不錯產品。
| CVD管式爐 | 1200度管式爐+真空系統+供氣系統 |
| 高溫爐殼體 | 采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統，使得殼體表面溫度小于55℃，內爐膛表面涂有1750℃氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度? |
| 加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金 |
| 額定溫度 | 1200℃ |
| 連續工作溫度 | 1100℃ |
| 升溫速率 | <=?20?℃ |
| 爐管材質和尺寸 | 石英管:?OD:?80mm?x??ID:?75?mm?x?Length:?1000?mm? |
| 加熱區長度 | 三溫區：200+200+200 mm |
| 恒溫區長度 | 350??(+/-1?℃)? |
| 控溫系統 | PID30段程序化控溫 |
| 控溫精度 | ±1?℃ |
| 真空密封系統 | 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥），額定漏氣率6?mtorr/min |
| 真空泵 | 采用雙旋機械泵，機械泵上安裝有油污過濾器，可以過濾真空泵工作時產生的油煙，減少泵油的損耗，保護環境和人體健康，過濾的設計小微粒直徑為0.3微米。 |
| 數字式真空顯示計?? | 數顯真空計,已安裝在不銹鋼法蘭上? |
| 混氣系統 |
三個質量流量計 三路質量量程分別為 10/100?cc/min. 16/160?cc/min. 25-250?cc/min 內部安裝有一混氣罐? |
| 功率 | 2.5?KW |
| 電壓 | AC?208-240V?單相,?50/60?Hz? |
| 售后服務 | 質保一年，終身保修 |
1200度CVD管式爐可選配件：
質量混氣系統1臺、雙旋機械泵1臺、K型熱電偶1支、氣煉石英爐管1根、不銹鋼法蘭1套、不銹鋼爐鉤1、爐塞1對、高溫手套1副、說明書1份
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