1100度RTP快速升降溫退火爐\科研用RTP快速升降溫退火爐
SGM 1100度開啟式RTP快速升降溫退火爐是由洛陽西格馬高溫電爐研發生產的的高性能快速熱處理電阻爐,為實驗室科研用rtp快速退火爐。?1100度開啟式RTP快速升降溫退火爐采用紅外燈管加熱,通過滑動爐體實現快速升降溫。該系列快速升降溫退火爐造型新穎結構合理,爐體上下兩半設計,可自由打開閉合,安全可靠,爐管外徑100mm,爐膛采用高純氧化鋁纖維材料真空吸附成型,表面涂有高反射率高溫保護涂層,既能降低熱量損耗,還能提高爐內溫度穩定性。試驗樣品放置于密封的石英管內,內部潔凈度高,可降低間接污染的可能。
RTP快速升降溫退火爐可應用在半導體、納米技術、碳纖維、石墨烯生長等新型材料工藝領域。也同樣適用于要求升降溫速度比較快的氣氛燒結、真空淬火退火及CVD等工藝實驗。該系統可滿足離子注入后的快速退火,也可用于歐姆接觸快速合金,還可用于硅化物合金退火,氧化物生長,以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合
洛陽西格馬高溫電爐可生產
RTP快速升降溫退火爐特點:
1、爐體采用雙層風冷殼體結構,爐殼合理的角度(風冷的導向)設計能有效的保證爐殼所有表面的溫度低2、爐體操作面板合理的角度設計,讓您的操作觀察更加合理人性化;
3、采用真空吸附成型的高純氧化鋁纖維爐膛;表面涂有高溫氧化鋁層,可以提高加熱效率且爐膛不易開裂;
4、采用紅外燈管加熱
5、爐管采用高純石英或99剛玉爐管,兩種材質均耐腐蝕,可承受聚冷聚熱的溫度變化、兩端采用SUS304高真空法蘭密封。
6、爐體兩端安裝有爐管防護網及爐管法蘭支撐裝置,防止兩端裸漏的爐管高溫燙傷及爐管高溫下兩端的受力過重;
7、爐管密封法蘭及針型閥均采用304材質,進出氣口采用通用接口,可方便客戶根據不同的工藝進行接頭的互換,可配合我公司的真空組、流量計、混氣罐使用,可實現一機多用化;
8、采用PID溫控調節,可編程30段控溫程序;恒溫精度±1℃;溫控儀表接口豐富,可實現通訊、聯機操作等功能;
9、設備具有超溫、斷偶報警自動斷電功能,操作簡單、安全可靠;
10、爐體自帶超溫保護及漏電保護功能,確保設備使用的安全性;
11、合理的氣路支架裝置,杜絕了氣路因自身重力而造成的爐管損壞;
12、爐體下部配有軌道,可左右移動至底部風扇處,以達到快速冷卻的目的。
13、爐體移動自動化且有滑動限位功能,避免爐體碰撞;風冷設計,使樣品實現快速降溫。
RTP快速升降溫退火爐主要參數:
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電爐名稱 |
SGM1100-RTP快速升降溫退火爐 |
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額定溫度 |
1100℃ |
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長期溫度 |
1000℃ |
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加熱元件 |
紅外燈管 |
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溫度測量精度 |
±0.2℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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快升溫速率 |
35℃/S(可按需定制) |
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降溫速率 |
1/200℃(將試樣移出加熱區域或通氮氣可加快降溫) |
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溫度控制 |
觸摸屏,PID30段程序控制。 |
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功率 |
12 Kw |
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額定電壓 |
AC380V,50/60Hz |
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測溫元件型號 |
N型熱電偶 |
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石英管規格 |
Φ120*900 |
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真空度 |
6*10-3Pa(選配,配分子泵) |
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抽氣端口尺寸 |
Φ6mm或KF40(配分子泵用KF40接口) |
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進氣端口尺寸 |
Φ6mm |
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外形尺寸 |
深600*寬1520*高700 |
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設備重量 |
100Kg |
鋁合金爐膛:鋁合金水冷鍍金爐膛,導熱性能好,有效提高降溫速率
石英爐膛:石英爐膛為可拆卸結構,當爐膛內被煙霧污染,導致升溫速率降低時,可將石英爐膛拆下清洗
洛陽西格馬高溫電爐可根據客戶需求定制各種:非標高溫爐、管高溫式爐、快速燒結爐、快速退火爐、快速熱處理爐、真空燒結爐、焊接爐、igbt焊接爐、真空焊接爐、實驗室焊接爐、真空爐、真空烤瓷爐、cvd烤盤爐、mocvd烤盤爐、擴散爐、退火爐、合金爐、交換爐、升華爐、氧化爐、氣氛爐、氫氣爐、cvd爐、隧道爐及工業爐專用爐體等各種工業、實驗室用熱處理設備。
rtp快速退火爐國外品牌有哪些?
rtp快速退火爐全稱rapid thermal processing furnace,快速退火爐是以碘鎢燈管為加熱元件,升溫速度極快,采用S型熱電偶測溫并采用國際的模糊PID控制,具有很高的控溫精度〈±5℃〉,快速退火爐具有真空裝置,可在多種氣氛下工作。


















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