1200度石英管管式爐采是由洛陽西格馬高溫電爐生產(chǎn)的管式電阻爐,1200度石英管管式爐采用石英爐管,管徑20~300mm可按需定制。雙O圈密封結(jié)構(gòu)搭配不同的真空機組獲得的10Pa~10^(-4)Pa真空度。搭配不同的法蘭總成可增強其擴展性。也可以用于搭建CVD和PECVD系統(tǒng)。
使用溫度范圍:300~1200℃? ? 溫度控制精度:±1℃? ? ? 管徑:φ25~φ100

主要用途:
高溫管式爐提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境,應用在半導體、納米技術(shù)、等纖維等領域;可擴展性強,搭配不同的接口和真空系統(tǒng)及其他附件可組成不同用途的實驗平臺,既是基礎組件也是核心組件。
管式爐主要特點:
雙層鈑金間的排溫風扇能有效有效保護爐體表面溫升低于50℃;
爐蓋開啟自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能,以確保使用的安全性
程序控溫系統(tǒng),可規(guī)劃多條曲線,可編程30段程序控溫
電路采用連續(xù)加熱輸出方式,雙回路供電,強弱電單走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性
加熱模塊采用直流信號調(diào)節(jié)輸出功率,避免了感應電對控制信號的干擾
操作按鍵選用低壓金屬按鈕,自帶狀態(tài)指示燈,操作安全直觀
安全性:過升報警、菜單鎖定、過升防止、復電延時。
管式爐主要技術(shù)參數(shù):
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性能數(shù)據(jù) |
電爐名稱 |
SGM? 1200℃真空管式爐 |
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爐管 |
φ50/44*1000 φ60/54*1000 φ80/74*1000 |
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加熱區(qū) |
加熱區(qū)長400~440mm,恒溫區(qū)約(±2℃)150mm(可個性定制管徑和加熱區(qū)長度)。
SGM 1200管式爐在1000℃保溫1H時溫場曲線圖:(0點為溫區(qū)中點及熱電偶所在位置)
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外形:
L*W*H(mm) |
1000*420*520(約) |
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額定溫度(℃) |
1200 |
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工作溫度(℃)
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1100 |
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功率(Kw) |
3 |
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電壓(V) |
220 |
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升溫速率 |
推薦:10℃/min;額定20℃/min
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部件與結(jié)構(gòu) |
溫控儀表 |
1、默認標配宇電AI智能控溫儀表,可選配:日本島電FP93溫控儀表、歐陸儀表、觸摸屏儀表、云端監(jiān)控儀表、其他儀表(。
2、具備30段曲線升溫功能(斜率升溫),可規(guī)劃多條曲線,滿足復雜工藝;
3、具備PID智能調(diào)節(jié)功能,可控硅移相觸發(fā)(調(diào)壓);
4、具有過溫保護、斷偶保護功能,可在過溫或斷偶時自動切斷電爐加熱電路;
5、可配備RS485、RS232通訊接口。可選購軟件與PC連接;
6、具備自整定功能。
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控溫精度 |
±1℃ |
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加熱元件 |
OCr27A17Mo2 ;預埋式電阻絲(半露) |
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熱電偶 |
1、默認K分度號;可選N分度號或其他分度號熱電偶;
2、可增加管內(nèi)測溫熱電偶。
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爐膛耐材和結(jié)構(gòu) |
1、真空吸濾成型的質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、對開式爐膛,有利于爐管的裝卸,也可用于觀察物料變化或快速冷卻。
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鈑金結(jié)構(gòu) |
帶風機強制對流的雙層殼體結(jié)構(gòu) |
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主控元件 |
可控硅 |
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開蓋斷電 |
上下爐膛間安裝行程開關(guān)(或光電感應開關(guān))爐門打開時切斷加熱電路。 |
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過流保護 |
電爐主回路上裝有斷路器,當加熱電流過大超過斷路器額定電流時,會斷路,能有效保護電路 |
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管堵和密封結(jié)構(gòu) |
1、設備包含了2個氧化鋁管堵,在管式爐使用前將管堵裝入管內(nèi)至加熱區(qū)端點,能有效降低管內(nèi)熱輻射,有利于恒溫區(qū)的形成,且對法蘭和O圈有良好的保護作用;
2、可選購更加潔凈的石英管堵,其更適合高真空系統(tǒng);
3、設備包含了基礎的氣路總成,一般爐管兩端均配有不銹鋼法蘭(含機械壓力表,針閥、軟管接頭等)
4、可根據(jù)需要選購波紋連接管、數(shù)顯真空計。
5、可選KF25接口以獲得較快抽氣速率,可選雙卡套接頭以連接供氣系統(tǒng)
6、可選裝卡箍式快裝法蘭,折頁法蘭,滑動法蘭,水冷法蘭,帶觀察窗的法蘭,以及聚四氟乙烯法蘭等;點此了解
如圖:(基本的管式爐管堵和法蘭安裝示意圖);
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真空系統(tǒng)(選購)
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多種真空機組供您選擇:
1、一般粗略抽真空、置換氣體洗爐管時:TW-1.5A單級泵可滿足使用需求。
2、雙極旋片機械泵:10^-2 torr,2XZ-2 真空泵能夠把管式爐爐管的真空度抽到10Pa左右。
3、分子泵機組:10^-5 torr
4、英國(INFICON)電容真空計(測量范圍3.8x10-5?/1125?Torr、可檢測各種氣體,包括混合氣體,測量精度、重復性好、可選防腐類型PCG554)
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供氣系統(tǒng)(選購) |
1、轉(zhuǎn)子流量計供氣系統(tǒng)
2、質(zhì)量流量控制器供氣系統(tǒng)
3、輔助供氣配件:鼓泡器、液態(tài)蒸發(fā)器等
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服務與支持
售前咨詢
1、按客戶技術(shù)要求為您提供選型服務;
2、按客戶實驗目的提供推薦服務;
3、客戶無法提供需求時,可為客戶提供預約實驗服務(點此了解),先試驗后購買。
售中服務
1、為客戶提供實時生產(chǎn)進度匯報服務;
2、發(fā)貨追蹤服務;
3、建立設備檔案生成的可溯源身份編號,記錄其生產(chǎn)工藝,用料,配件等信息。
售后服務
1、安裝和操作指導;
2、可選購的上門服務;
3、配件供應服務(點此查看)。
質(zhì)保服務
電爐保修一年,并提供終身技術(shù)支持和維護服務;
特別提示:
1、加熱元件不在保修范圍內(nèi)(點此了解各種爐膛加熱元件的更換特點)。
2、石英配件,樣品坩堝等易損件不在保修范圍內(nèi);
3、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
管式爐注意事項
1、爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa;
2、使用氣瓶向爐管內(nèi)通入氣體時,為了確保安全,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議使用壓力低于0.02MPa;
3、爐管為石英管時,爐內(nèi)溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓應和大氣壓相當;
4、進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊;
5、對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開排氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。
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