石英陶瓷坩堝,全稱為高純熔融石英陶瓷坩堝(二氧化硅含量≥99.9%)。是以高純熔融石英為原料做成的陶瓷質坩堝。一般情況下,其形狀主要有方形和圓筒形。其中,方形的高純石英坩堝用在多晶硅鑄錠環節,充當多晶硅化料和長晶的容器;圓形的高純石英坩堝則用在單晶硅中拉單晶的環節。
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石英陶瓷坩堝生產工藝為:制備料漿--澆注成型--毛坯干燥--燒結--切割磨削加工--成品。
材料性能參數:
長期使用溫度(℃):1100
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項目 |
單位 |
性能指標 |
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SiO2含量 |
wt% |
≥99.5 |
|
體積密度 |
g/cm3 |
1.80-1.90 |
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顯氣孔率 |
% |
14/17 |
|
抗壓強度 |
MPA |
≥50 |
|
熱膨脹系數 |
×10-6/℃ |
≤0.6 |
|
熱傳導率 |
w/m.℃ |
0.65 |
熔融石英陶瓷坩堝由于具有結構精細、熱導率低、熱膨脹系數小、制成品尺寸精度高、高溫不變形、熱震穩定性好、電性能好、耐化學侵蝕性好等特點,因此在玻璃深加工行業、冶金工業、電子工業、化工工業、航空航天等領域得到廣泛應用。
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