PECVD系統
小型PECVD系統為實驗室用等離子體增強化學氣相沉積設備。
PECVD設備通常由等離子體源、反應腔、真空系統、基板加熱器、自動化控制系統、氣體供應系統等組件構成。等離子體源可以是微波或射頻電源等能量源。
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